直接固體取樣分析，無需進行化學消解樣品，避免樣品前處理過程中引入雜質的風險。

高解析輝光放電質譜 (GDMS)分析技術是目前針對無機固體材料中微量及痕量元素分析的有效分析手段之一。

全元素分析：Li-U 74種元素，可做未知物鑒定分析

純度檢測能力：最高可以鑒定99.99999%+的高純材料

檢測范圍：100%-ppb，主要元素，微量及痕量元素

可檢測的樣品形態：幾乎所有形態（塊材，薄片，不規則形狀，顆粒，粉末…）

其他應用：可做鍍層中雜質元素及主元素含量的縱向深度分析

分析原理示意

利用高效等離子體實現無差異化的逐層原子蒸發，中性原子擴散到等離子體內離子化，雙聚焦質譜儀提供高質量解析度。

GDMS主要設備的比較

設備型號：AstruM

生產廠商：Nu Instrument  

特點：AutruM最新型號，穩定性高；液氮制冷，可分析低熔點材料，如金屬鎵、銦等；使用輔助電極更可分析非導電材料，如氧化物、氮化物、碳化物高性能陶瓷及稀土氧化物等材料。

設備型號：Element GD-PLUS

生產廠商：Thermo Fisher

特點：Element GD-PLUS高流速輝光放電源，原子化快；可在短時間內獲得最大量的元素分布信息。分析高純，超高純金屬和多元合金材料優勢明顯。