一種能快獲得材料中化學成分信息的無損分析方法，適用于各種形態的樣品（包括固體、粉末、顆粒、液體等）。

設備型號：ATLAS 

生產廠商：IXRF SYSTEMS

特點

檢測速度快，數分鐘內就可獲得材料的組成信息 （元素檢測范圍：Na~U）

· 主要應用：未知物分析，牌號鑒定

取樣面積小，最小取樣面積5um

· 主要應用：分辨微小區域的組成比例分布，可做微區面掃描分析（mapping）

測量重現性高，主元素RSD<0.5%

· 主要應用：材料研發，工藝調整，反向工程。